特种气体兴起于60年代中期,作为基础化工材料,主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医学科学、诊断、医药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展,其应用范围也越来越广泛。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种,广泛应用 于电子半导体、化工、医疗、环保和装备制造等L域。电子特种气体市场分布电子特种气体种类多,应用领域广泛。电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5~6%,但由于其品种繁多,在半导体制程工艺中覆盖广泛,因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积布局的方向。特种气体的分类方式很多种,例如按照气体本身化学成分可分为:硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。
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