为满足特定用途的气体,包括单一气体或混合气体。
单一气体有259种,其中电子气体115种,**气体63种,无机气体35种,卤碳素气体29种,同位素气体17种。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
作为化学基础材料,它们主要用于石化工业、半导体零件、玻璃纤维、激光、医学、诊断、医疗、水果成熟、食品质量保证等领域。由于新产品技术的后期发展,应用领域越来越广泛。
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